出展概要

テイジンが開発したナノファイバー（繊維径700nm）を用いた不織布と高硬度樹脂含浸技術を組合せ、高研磨レートと低表面粗さ・平坦性を両立する研磨パッド

JST支援プログラム名称・期間

産学共同実用化開発事業（ＮｅｘＴＥＰ）
平成25年10月～平成29年3月

共同研究者情報

• 立命館大学　理工学部機械工学科　ファブリケーション研究室　教授　谷 泰弘

展示物