- 超高精度電子線描画装置を用いたサブミクロンピッチ回折格子金型製作
ジュラロン工業
小間番号 | 展示 J17-5 |
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出展概要
400nmピッチの矩形回折格子金型を機械加工で製作するためには約200nm幅の矩形工具が必要となります。既存の機械加工技術では製作は困難でした。京大ナノハブ拠点の装置を利用し、Si基板に電子線描画装置によるレジストパターニング、ドライエッチング装置によるエッチング、切出しを行い、射出成型金型に組み込むことを試みました。金型精度で格子深さは27±5nm、溝幅200±10nmを達成しました。
JST支援プログラム名称・期間
ナノテクノロジープラットフォーム
共同研究者情報
- 京都大学