- R2Rナノパターニングによるデバイス開発
旭化成
小間番号 | 展示 J12-12 |
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出展概要
全てのモノが繋がるIoT社会において、近い将来、年間1兆個のセンサーが必要になると言われています。旭化成では、1兆個のセンサーを製造する方法として、従来の半導体プロセスと比較して飛躍的に生産性の高い、R2R印刷プロセスに注目し、研究開発を進めてきました。
今回、JSTの助成により、100ナノメートルの解像度を持つ250mm幅の継ぎ目無し円筒版の開発に成功しました。その成果及び将来のビジョンについて紹介します。
JST支援プログラム名称・期間
A-STEP(研究成果最適展開支援プログラム)
シーズ育成タイプ
開発期間:平成26年度~平成28年度
課題名:電子ビームリソグラフィを用いた連続ナノパターニング用ローラーモールドの実用化研究
共同研究者情報
- 兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所 客員教授 松井 真二