- SiCトレンチMOSFETウェハ、フルSiCトレンチパワーモジュール
京都地域スーパークラスタープログラム ローム(株)
出展分野 | グリーンイノベーション |
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支援プログラム名称 | 研究成果展開事業スーパークラスタープログラム |
小間番号 | 展示 E-24 |
出展概要
ロームは独自構造の採用により、世界で初めてトレンチ構造を採用したSiC-MOSFET の量産化に成功しました。既に量産中のプレーナー型SiC-MOSFET に比べ、オン抵抗を約50%低減、あわせてスイッチング性能(入力容量を約35%低減)の向上を実現しています。
また、トレンチ構造SiC-MOSFET を使用したフルSiCパワーモジュールを開発。内部回路は2in1 構成で、SiC-MOSFET およびSiC-SBD を用いた1200V/180A 定格品を開発しています。
共同研究者情報
京都大学