出展概要

㈱サクラクレパスは、半導体をはじめとしたエレクトロニクス製造分野で広く利用されているプラズマの強度を、装置内に置くだけで評価できるプラズマインジケータ^TM（PLAZMARKR、プラズマーク^TM）を開発しました。本製品は、照射されたプラズマの処理強度に応じて変色するため、処理強度を「色で見える化」できます。また、安価で簡便に工程のバラツキや面内分布を評価でき、生産性や歩留まりの向上に役立ちます。(199字)

共同研究者情報

奈良先端科学技術大学院大学
物質創成科学研究科
光情報分子化学研究室　野々口　斐之