出展概要

鉛フリーの圧電材料として、環境親和性に優れたニオブ酸カリウムナトリウムを用い、既存のPZT薄膜センサーと同等レベルの角速度検知特性を有する3軸角速度センサーの開発に成功した。今回、「6インチサイズでの製膜技術」「薄膜微細加工技術」「電極形成技術」などの角速度センサー素子作製に必要となる各種要素技術の開発を進め、これらの成果について展示する。

共同研究者情報

京都大学　ナノテクノロジーハブ拠点

上席高度専門技術職　松嶋　朝明