出展概要

冷陰極電子源の産業利用を進めるために、高出力化、高信頼性化を達成するため、ナノテク東大拠点のEB Lithography装置やプラズマエッチング装置を用いて冷陰極チップを試作し、同じく東大武田先端知クリーンルーム内に導入した装置によって、試作した新規素子の性能を検証中です。素子サンプルならびにポスター展示を行います。

共同研究者情報

東京大学
大規模集積システム設計教育研究センター
微細加工プラットフォーム実施機関　准教授・マネージャ　三田吉郎