出展概要

最新SiCデバイスを搭載した、真空領域から大気圧及び液中領域プラズマ用のハイパワーパルス電源類の開発を行いました。
その一つは、プラズマイオン注入装置用の高速高電圧のパルススイッチで、SiCパワーモジュールを12個直列した、定格22ｋV・50A・安全遮断電流300Aを開発しました（ポスター展示）。更に、フロープラズマ（ソリューションプラズマ）装置用のSiCの高速性を活かした200ｋHzのナノパルス電源を開発完了しました。これらの展示と実演を行います。

JST支援プログラム名称・期間

研究成果展開事業スーパークラスタープログラム
H25～H29

共同研究者情報

• 大阪大学　大学院工学研究科　電気電子情報工学専攻　教授　舟木　剛

ブース位置詳細