球の表面に超音波閉じ込めた超高感度なセンサであるボールSAWセンサとその応用 ボールウェーブ(株) 赤尾慎吾 印刷する 出展分野 その他 小間番号 展示 J1-8 出展概要 半導体やエネルギー産業で用いるクリーンガス中の微小水分測定において、既存センサの感度と応答時間には課題がある。そこで、球の弾性表面波(SAW)のコリメートビームを利用した直径3mmのボールSAWセンサを用いて、露点-80℃(濃度0.54ppm)以下の水分が1分以内に測定できる微量水分計を開発した。 JST支援プログラム名称・期間 JST STARTプログラム 共同研究者情報 東北大学 未来技術共同研究センター; NICHe 山中プロジェクト 教授 山中一司 ブース位置詳細 <拡大図>