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リアルタイムステレオSEM(SU3500形)
区切り
走査電子顕微鏡(SEM)のリアルタイム3D 観察を可能に

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リアルタイムステレオSEM(SU3500形)

メーカー名 :
 (株)日立ハイテクノロジーズ

製品の紹介(特徴など) :
 試料最表面の微細形状観察や、試料ダメージの軽減に有効な、低加速電圧観察時の分解能を向上させ、ライブステレオ観察も可能とする新しいSEMです。

 製品情報URL : 
 http://www.hitachi-hightech.com/jp/product_detail/?pn=em-su3500

Keyword : 3D、SEM、リアルタイム、裸眼

本成果の元となった開発課題

この課題の詳細はこちら Icon_pdf  (日本語版) 先端計測成果集より
開発課題名 リアルタイムステレオSEMの開発
チームリーダー 伊東 祐博((株)日立ハイテクノロジーズ 統括主任技師)
参画機関 新潟大学、静岡大学、EIZO(株)
開発期間 平成21年〜23年度
開発概要 走査電子顕微鏡(SEM)でステレオ(3D)観察を行うためには、右目で見たときと左目で見たときに相当する静止画像(視差画像)を、試料台を傾けて異なる角度からそれぞれ取得してから合成し、赤青メガネなどをかけて観察する必要があった。しかし、視差画像の調整や取得に時間がかかるため、リアルタイムの3D観察が出来ないという課題があった。本開発では、リアルタイムの3D観察のため、これらの技術([1]電子線傾斜制御技術、[2]3D表示技術、[3]収差低減技術)についての開発を行う。



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