| チームリーダー ： | 長谷川 修司 【東京大学大学院 理学系研究科 助教授】 |
| 中核機関 ： | 東京大学 |
| 参画機関 ： | 大阪大学 株式会社ユニソク |
- Ⅰ．開発の概要
- 走査トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）に４本の探針を組み込み、お互いの位置関係を認識しながら独立に駆動して電気計測を可能とする「４探針ＳＴＭ制御系」、および金属層や誘電体層で被覆して多様な機能をもたせた「被覆型カーボンナノチューブ探針」を開発する。これにより次世代ナノテクノロジーのためのナノスケール電気計測法として「４探針ＳＴＭ法」を確立し、さらに今までにない画期的な「グリーン関数ＳＴＭ法」を実現する。
- Ⅱ．中間評価における評価項目
- （１）４探針制御系の要素技術の確立
- １０ｎｍの精度で４探針を独立・同時駆動する技術を完成した。
- ＳＴＭ／ＳＴＳモードと４探針プローブ電気伝導測定を実現できるようモード切替機能を完成した。
- （２）被覆型ナノチューブ探針の製作技術の確立
- 探針・ナノチューブ接合部の接触抵抗を目標の１００ＫΩ以下に低減・安定化する技術を開発できた。
- 探針・ナノチューブ接合部の機械的耐久性向上に成功、繰り返し接触１００回以上をクリアした。
- ＰｔＩｒ、Ｗ，ＮｉＣｏ等で多層被覆したＣＮＴ探針の製作技術を確立した。
- Ⅲ．評価
- ４探針ＳＴＭの制御系の開発と多機能ナノチューブの開発について期待通りに開発が進んでおり、また、参画機関の企業においては、開発した４探針ＳＴＭ制御装置と多機能ナノチューブに対する製品化の目途が立ってきている。本事業の主旨に照らし、本課題は要素技術プログラムの課題として十分成果を挙げていると判断できることから、本課題は開発期間を当初計画より１年間繰り上げ、要素技術の実用化に向け着実に推進すべきである。