| 課題名 | 大面積透明ダイヤモンド・ライク・カーボン成膜装置 |
| 研究者 | 新潟工科大学工学部情報電子工学科 教授 喜多村 博 |
| 評価 | 本技術は、炭化水素系ガスを原料ガスとして1気圧程度下、表面放電プラズマによってプラスチック等の電気絶縁体表面に透明なダイヤモンド・ライク・カーボン（DLC）を成膜するもので、基板温度60℃程度以下の低温で大面積、高速成膜を可能とする装置である。 本装置で成膜されるDLCは、光透過性に優れ、高硬度であるので、プラスチック等の車両用窓材、建材用窓材、大型ディスプレイ用パネル等への利用が期待される。 |
| 評価者 | 新技術審議会会長 末松安晴 新技術審議会新技術開発部会長 笛木和雄 新技術審議会委員 舘野之男、高橋清、徳久芳郎、富山朔太郎、中島泰夫、廣部 雅昭、増本健、小粥正巳 |
| 評価日 | 平成11年2月8日 |
| 本件に関する問い合わせ先 | 東京都千代田区四番町5-3 科学技術振興事業団 プロジェクト部第二課 佐藤、古賀 Tel 03-5214-8995 Fax 03-5214-8999 |
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