| 課題名 | 高エネルギー分解能分析電子顕微鏡 |
| 研究者名 | 東北大学科学計測研究所 教授 田中通義 |
| 評価 | 本技術は、電子用モノクロメーター及びアナライザーを内蔵し、高い分解能のエネルギー分析機能を持つ透過型電子顕微鏡（分析電子顕微鏡）に関するものである。 本装置では、エネルギー分散能の高い低収差のモノクロメーターにより電子銃から取り出した電子線を単色化し、0.3eV程度のエネルギー分解能を得るとともに、ナノメートルレベル径の電子ビームを実現することにより、物質の局所領域における詳細な電子状態解析及び元素分析が可能である。また、同時に透過型電子顕微鏡としての機能を有することから、物理、化学、生物の各分野における基礎研究および半導体素子や機能性材料の開発等の幅広い分野での利用が期待される。 |
| 評価者 | |
| 評価日 | 平成10年11月24日 |
| 本件に関する問い合わせ先： |
This page updated on February 15, 1999
Copyright© 1999 Japan Science and Technology Corporation.
www-pr@jst.go.jp