科学技術振興事業団報 第73号

平成10年7月28日
埼玉県川口市本町4-1-8
科学技術振興事業団
電話(048)226-5606(総務部広報担当)

「グラファイトX線光学素子の製造技術」の開発に成功

 科学技術振興事業団(理事長 中村 守孝)は、京都大学工学部助教授松原英一郎氏、松下電器産業株式会社デバイス・エンジニアリング開発センター主担当村上睦明氏(元創造科学技術推進事業研究プロジェクト 研究員)らの研究成果である「グラファイトX線光学素子の製造技術」を当事業団の委託開発課題の平成66年度課題として平成7年3月から平成10年3月にかけて松下電器産業株式会社(社長森下洋一、本社大阪府門真市大字門真1006番地、資本金2,094億円、電話 06-908-1121)に委託して開発を(開発費約2億円)進めていたが、このほど本開発を成功と認定した。
 物質の構造や組成の分析には、X線回折装置や蛍光X線分析装置が多用されており、これらの装置で微小部分の分析を行う場合、線源から放射されるX線の一部しか試料の照射に利用できず弱い信号が雑音に埋もれたり、測定に長時間要するという問題があった。このような問題を解決するため、ゲルマニウムなどの多層膜を用いてX線を集光し、照射強度を上げる試みがあるが、X線の集光倍率は10倍程度であった。
 本新技術は、積層した高分子フィルムを加熱処理して炭素化し、湾曲させた後、加圧・高温処理して集光に適した形状をもち、かつ、結晶面が整ったグラファイトからなるX線光学素子を製造するものである。本新技術により製造されるX線光学素子はX線の集光倍率が200倍以上にできるので、X線回折装置や蛍光X線分析装置に組み込むと、試料へのX線の照射強度が著しく向上し、測定精度の向上(S/N比の改善)、測定時間の短縮、微量試料や微少領域の測定などが可能となることから、物質科学や生命科学など研究分野、製造工程の検査や品質管理など産業分野で広く利用できるものと期待される。

「グラファイトX線光学素子の製造技術」(背景・内容・効果)

本新技術によるX線光学素子を用いた集光の概念

グラファイトX線光学素子

素子を構成する分割したグラファイト

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