| 課 題 名 | 「高エネルギー分解能分析電子顕微鏡」 | ||||||
| 研 究 者 | 東北大学 名誉教授 田中通義 | ||||||
| 所 有 者 | 東北大学 名誉教授 田中通義 日本電子株式会社 | ||||||
| 委託企業 | 日本電子株式会社 | ||||||
| 開 発 費 | ３６４，８１９千円 | ||||||
| 開発期間 | 平成１１年３月～平成１５年３月 | ||||||
| 評 価 | 本新技術は、エネルギー分散の少ない電子線を照射し、試料を透過した際に受けるエネルギー変化を計測することで、試料の組成や原子の結合状態を調べる電子顕微鏡に関するものである。エネルギー変化量は、原子の種類や電子状態に固有な量であるため、計測値は試料の組成や原子の結合状態等の解析に有効である。 本開発では、モノクロメータに特定エネルギーの電子線のみ直進する電磁場条件を利用した「ウィーンフィルタ」を２段用いて入射電子線の単色化をはかった。使用部材の残留磁気抑制や駆動電源の安定化等により電磁場条件を安定かつ精密に制御することが可能となった。これにより電子線が試料に入射する面積を小さくするとともに、エネルギー分解能を高めることができ、最小分析領域1nmにおいて、エネルギー分解能0.19eVを達成した。 本電子顕微鏡は、物質の組成や結合状態等に固有な入射電子エネルギー変化を、微小領域で計測することが可能であることから、大規模集積回路に用いる半導体素子の特性解析等に用いる分析用電子顕微鏡としての利用が期待される。 | ||||||
| 評 価 者 |
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| 評 価 日 | 平成１５年７月２日 |
| 本件に関する問い合わせ先 東京都千代田区四番町５－３ 科学技術振興事業団 開発部開発推進課 菊地、二階堂 Tel: 03-5214-8995，Fax: 03-5214-8999 |
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