フェムト秒レーザーによる硬質薄膜のナノ加工
周期的微細構造の偏光と波長による変化：TiN
λ=800nm： (a) 間隔125 nm、(b) 粒径130 nm
λ=267nm： (a) 間隔40 nm、(b) 粒径45 nm
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