従来の超短パルスレーザの現状と本研究との比較
現 状
本 研 究
レーザの種類
Ti:サファイアレーザ
Yb:YAGレーザ
特
性
平均出力
1Ｗ前後
８Ｗ
パルス幅
数１０～数１００フェムト秒
３０ナノ秒（今後数１０フェムト秒目指す）
電力効率
１％未満
１０％以上
サイズ
大型、不安定
小型、高安定
応 用
主に研究用
超微細加工、機能性薄膜形成等の産業用
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