新規採択研究代表者・個人研究者および研究課題概要
戦略創造プログラム
戦略目標
「情報処理・通信における集積・機能限界の克服実現のためのナノデバイス・材料・システムの創製」
　　研究領域「高度情報処理・通信の実現に向けたナノファクトリーとプロセス観測」
氏名 所属機関 所属学部・
学科など		 役職 研究課題名 研究課題概要
石橋　幸治 理化学研究所 半導体工学研究室 先任研究員 カーボンナノ材料を用いた量子ナノデバイスプロセスの開発 現在、量子状態のコヒーレンスや１電子レベルでの電子相関を利用した量子情報処理や単電子エレクトロニクスなどが期待されています。本研究では、カーボンナノチューブやフラーレンのもつ超微細性と半導体微細加工技術を組み合わせたデバイスプロセスを開発し、基本要素デバイスやそれらを集積した簡単な回路を実現します。これによりシリコン集積回路とは相補的な新しいエレクトロニクスに対して、材料的な観点から新たな展開が期待されます。
市川　昌和 東京大学 大学院工学系研究科 教授 超高密度・超微細ナノドット形成とナノ物性評価技術 独自の極薄Si酸化膜を利用する超高密度・超微細ナノドット形成技術を用いて、Si、SiGe、Geや鉄シリサイドからなるナノドット超格子や人工配列構造を作成する総合技術を開発します。また、個々のナノドットや集積体の光・電子物性を評価する技術の開発も行います。このようなナノ構造体においては、光効率の大幅な増大が期待できます。この研究により、光効率の大きな素子を開発できれば、Si光素子とSi電子素子の融合が可能となります。
彌田　智一 東京工業大学 資源化学研究所 教授 高信頼性ナノ相分離構造テンプレートの創製 高分子の長さや配列を精密に制御できる重合法を用いて、100～101nm領域の高分子ビルディングブロックを合成し、これらの自己組織化による101～102nm領域の構造構築を目指します。特に、異なる性質のポリマーがナノ領域で規則的に相分離する材料と条件の最適化をはかり、信頼性の高いナノ構造テンプレートを創製します。このテンプレートを用いたナノ構造転写を行い、さまざまな材料のナノ構造デバイスを作製します。
川勝　英樹 東京大学 生産技術研究所 助教授 超高速・超並列ナノメカニクス 微小な走査型力顕微鏡カンチレバーで、固有振動数とQ値の高いものをシリコンナノ細線やカーボンナノチューブをバネに用いて実現します。それを一本もしくは数百万本用いて、周波数変化による捕捉した原子や分子の同定、広帯域スペクトロスコピー、高速生体観察、網羅的蛋白結合物質の検索を行います。これにより、原子レベルのプロセスのより深く正確な理解、新しい研究手法や分野の創出、医療分析器への展開が期待されます。
木下　博雄 姫路工業大学 高度産業科学技術研究所 教授 位相差極端紫外光顕微鏡による機能性材料表面観察・計測技術 サブナノからピコメートルの観察・計測技術の開発は、我が国のナノ産業基盤構築上の最重要課題と考えられます。本研究では、極端紫外光(EUV)領域で利用可能な半透膜を作成する技術確立を図り、これを用いた位相差干渉顕微鏡を開発します。これにより、次世代半導体製造用極端紫外線リソグラフィ(EUVL)マスク上の微細な欠陥（膜表面の凹凸ならびに膜中の異物により生じる位相欠陥）の分離評価が可能となり、2007年以降には必要となる超極小線幅（50nm～35nm）の半導体デバイスの開発に貢献できると共に、ピコオーダーでの汎用計測器への応用が期待されます。
大門　寛 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 教授 ナノ構造解析のための立体原子顕微鏡の開発 研究代表者らは立体顕微鏡という手法を開発し、特定の原子の周りの３次元構造を200億倍に拡大して立体視して測定することに成功しました。本研究では、この手法の確立を行うとともに、装置を使いやすく改良し、さらに通常の顕微鏡機能も持つようなシステムを開発します。これにより、個々の量子ドットや有機分子などの原子配列の立体観測が容易になり、原子レベルで制御されたナノデバイスの開発が促進されることが期待されます。
松井　真二 姫路工業大学 高度産業科学技術研究所 教授 高機能ナノ立体構造デバイス・プロセス ナノ立体構造体を基に異なる材料を局所的にヘテロ接合させたりドーピングしたりする事ができれば、構造体自体にセンシング機能や駆動機能、さらには信号変換機能や増幅機能などを持たせることができます。本研究では、これまで研究代表者らが培ってきた独自のナノ立体構造体形成技術をベースとし、従来の２次元積層構造体である機能デバイスとは異なる新概念実証デバイスとして、「ナノ立体電子・光デバイス」「ナノ立体構造バイオ素子」等に代表される「高機能ナノ立体構造デバイス」の創製、および、デバイス構築に必要となるプロセス技術の創製を目指します。

総評　：　研究総括　　蒲生　健次（大阪大学大学院基礎工学研究科　教授）
　ナノテクノロジーは、1959年の有名なファインマンの講演にあるように、古くからその重要性が認識され、基礎研究も行われてきたが、いまだに「実現」していない技術分野である。その原因の一つは、ナノ構造の実現に必要となる「プロセシング技術」と、「計測評価技術」が充分に発達していないということにある。
　本研究領域は、高度情報処理・通信に資するナノデバイス等を始め、ナノバイオテクノロジーを活用した機能性材料・システム、環境保全・エネルギー高度利用の実現のためのナノ材料・システム等の実現に向けた「新しいプロセシング技術」、ナノ構造体の機能を観察・計測・評価する「新しい計測評価技術」等の創製を目指している。
　今回の研究課題募集にあたり、電子工学、物理、化学など、ナノテクノロジーを支える技術分野の研究者から総数４６件の応募があった。その内容は、電子・イオンビーム技術、光、X線プロセス、走査プローブ技術、自己組織化プロセスを用いたナノ加工技術等に係わる「プロセシング技術」・「計測評価技術」の開発を目指す提案であった。また、これらの研究課題がターゲットとする応用分野については、ナノテクノロジーの重要性・拡張性を反映し、ナノ電子デバイスだけでなく、バイオセンサー・燃料電池・触媒等に必要な機能材料など多岐にわたった。
　これらの中から、書類審査で１４件を選び、さらに面接審査で７件を厳選した。応募のあった研究提案は、いずれも、これまでの実績に基づいたものであり、さらに、重要な課題に挑戦する提案であったため、７件に絞るのは非常に困難であった。採択に当たっては、これまでの微細加工技術、計測評価技術の単なる延長、改良に係わる研究提案ではなく、ナノ加工技術、計測評価技術への新しい挑戦、魅力的な課題設定やアプローチ、期待される研究成果のインパクトの大きさなどに着目して審査した。
　採択された課題は、いずれも魅力的な課題である。革新的技術シーズの創出を目指す本プロジェクトの趣旨から言って、産業界からの提案が望まれるところであるが、残念ながら研究代表者としての応募が少なく採択にいたらなかった。しかし、採択された研究課題には、共同研究者として参加が見られ、共同研究の実をあげて産業技術の発展に資することを期待している。

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This page updated on October 31, 2002

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