偏光分離素子の模式図
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（開発の背景）
高度情報化に伴い、光通信網に使われる光デバイスの市場は現在約６０億円、今後のブロードバンド化に伴い市場拡大が見込まれている。
（開発の成果）
本技術では、確立された半導体のプロセス技術を活用するため、従来コストの１／１０で光デバイスを製造でき、今後の素子化の研究開発により、相当のシェア獲得が期待される。 |
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自己クローニング技術
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| “削る”と“積む”の複合で自己整合的に基板の周期構造をクローン（複製）できる。 |
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| スパッタエッチングとスパッタデポジションの複合プロセスにおいて、表面に一定の凹凸形状が形成され複製される作用を利用しています。適切な条件下では自動的に表面形状が定常形状になり、安定に周期構造が形成されます。 |
３つの表面整形効果 |
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