| 課題名 | 「近接場光学顕微分光測定システム」 | ||||||
| 研究者 | 大津元一（東京工業大学大学院総合理工学研究科 教授） | ||||||
| 所有者 | （財）神奈川科学技術アカデミー 日本分光株式会社 科学技術振興事業団 | ||||||
| 委託企業 | 日本分光株式会社 | ||||||
| 開発費 | 197,895,707円 | ||||||
| 開発期間 | 平成１０年３月〜平成１２年６月 | ||||||
| 評価 | 光の回折限界を超えた空間分解能を持つ顕微分光測定システムを実現するため、光波長よりも小径(100nm)の開口部を持つプローブを光ファイバーの一端に設けて、この開口部に局在させた近接場光を試料に接触させることにより試料から発生する微弱な散乱光等をプローブ内を通過させて検出することで、光波長より微小な領域の分光測定を可能とする装置を開発した。 本新技術では、従来の電子顕微鏡等では分析出来なかった半導体デバイス等の微小部分の結晶構造や生体組織等の微小構造の分析が非破壊で行えることから、これら先端的な研究開発のみならず、微細化技術による半導体製造プロセスの評価・品質管理等への利用も期待される。 | ||||||
| 評価者 |
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| 評価日 | 平成１２年７月３１ |
| 本件に関する問い合わせ先 | 東京都千代田区四番町５−３ | |
| 科学技術振興事業団 | 開発業務部 管理課 草野、井口 | |
| Tel 03-5214-8996 | Fax: 03-5214-8399 |
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