開発を終了した課題の評価


課題名 「プラズマプロセスを用いた機能性無機・有機複合膜の形成技術」
研究者 東洋大学 工学部 教授 村山洋一
東洋大学 工学部 教授 柏木邦宏
所有者 東洋大学 工学部 教授 村山洋一
東洋大学 工学部 教授 柏木邦宏
伊藤忠ファインケミカル株式会社
委託企業 伊藤忠ファインケミカル株式会社
開発費 358,460,459円
開発期間 平成7年11月27日〜平成11年11月30日(4年)
評価   高周波イオンプレーティング法(RF-IP)を用いて無機材料と有機材料を複合化した新たな光学多層薄膜を製作した。無機材料のみで真空蒸着法により製作した従来の成膜技術に比べ、本新技術は次のような特長を有する。
(1) 屈折率や膜厚をより自在に設定できる
(2) 緻密で高強度の膜ができる
(3) RE-IPは成膜制御因子が多いため精密な膜厚制御が可能である
これにより、少ない層数で良好な光学特性を得ることができたので低コストで良質の薄膜を製造できる可能性があり、各種光学機器の反射防止膜や光学フィルターなどへの応用が期待される。
評価者
新技術審議会長 末松安晴
新技術審議会新技術開発部会長 笛木和雄
新技術審議会委員 笛木和雄、高橋清、舘野之男、富山朔太郎、徳久芳郎
廣部雅昭、中島泰夫、増本健
評価日 平成12年2月28日
本件に関する問い合わせ先 東京都千代田区四番町5−3
科学技術振興事業団 FAX 03-5214-8399
開発業務部 管理課 木曽原 直之 Tel 03-5214-8996

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