課題名 | 「プラズマプロセスを用いた機能性無機・有機複合膜の形成技術」 | ||||||
研究者 | 東洋大学 工学部 教授 村山洋一 東洋大学 工学部 教授 柏木邦宏 | ||||||
所有者 | 東洋大学 工学部 教授 村山洋一 東洋大学 工学部 教授 柏木邦宏 伊藤忠ファインケミカル株式会社 | ||||||
委託企業 | 伊藤忠ファインケミカル株式会社 | ||||||
開発費 | 358,460,459円 | ||||||
開発期間 | 平成7年11月27日〜平成11年11月30日(4年) | ||||||
評価 | 高周波イオンプレーティング法(RF-IP)を用いて無機材料と有機材料を複合化した新たな光学多層薄膜を製作した。無機材料のみで真空蒸着法により製作した従来の成膜技術に比べ、本新技術は次のような特長を有する。
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評価者 |
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評価日 | 平成12年2月28日 |
本件に関する問い合わせ先 | 東京都千代田区四番町5−3 | |
科学技術振興事業団 | FAX 03-5214-8399 | |
開発業務部 管理課 木曽原 直之 | Tel 03-5214-8996 |
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