判断回路内蔵型半導体加速度センサの製造技術

本新技術の背景、内容、効果は次の通りである。

　自動車やロボット、各種精密機器の電子化に伴って多種多様な監視・判断・制御を同時に行うことが必要となっている。また、自動車では安全性や操縦安定性等の追求のためエアバッグやアンチスキッドブレーキ、電子サスペンション制御の開発が進み、このために小型高精度で安価な加速度センサが求められている。
　従来の、コンピュータで全ての監視・判断・制御を行う集中処理方式では、コンピュータの能力が不足する、配線の複雑化により信頼性・経済性が低下する、メインテナンスも困難となる等の問題があった。このため、分散処理の要求が強まっており、センサチップ自体にも測定結果に基づく制御・判断等の機能を持たせる知能化が望まれていた。
　しかし、従来使用されている機械式加速度センサは知能化が困難な上、製造・調整・保守に熟練を要するものであり、小型化にも限界があった。

　新技術によるセンサは加速度の検出部と、増幅・AD変換・判断を行う信号処理部を数ミリ角の同一チップ上に実現するものである。このセンサでは、歪みの大きさに応じてCMOSインバータの論理しきい値電圧が変化することを利用して加速度を検出し、信号処理部に複数のCMOSインバータを組み合わせた回路を用いることで、設定条件等との比較判断をセンサ自体が行う等の高度な機能を実現している。
　新技術による加速度センサは検出部と信号処理部から構成される。 （図、写真）

　 本新技術によって簡素な回路構成で

ことから、

等に広く利用されることが期待される。