高分解フェムト秒パルス分光計測システム

■ 高分解フェムト秒パルス分光計測システム

システムの特徴

不揮発メモリ (FeRAM) 素子^注１）・弾性表面波フィルタ素子^注２）など、誘電体薄膜積層^注３）を電子機能層^注４）とする次世代型半導体電子デバイスの複素誘電分散ε^*(ω)^注４）を非接触で定量精密測定するパルス分光計測システムを開発しました。このパルス分光法は、従来の分光法とは測光原理を異にするものであり、試料物質の誘電定数ε'(ω)^注５）と誘電損失ε"(ω)^注６）の波数分散^注７）を実測することができ、さらに誘電体薄膜積層に対しては静的誘電定数ε(0) ^注８）を、また半導体ウエハについてはキャリア密度N^注９）・散乱寿命τ^注１０）などの物理定数を実測値として即時に出力することができます。

製品構成

・	時系列変換パルス分光（テラヘルツ時間領域分光）装置 (THz-TDS : Terahertz Time-Domain Spectrometers)
・	フーリエ変換赤外分光計測装置 (Infrared Fourie Transform Spectrometers)
・	分散型分光光度計 (Dispersion Spectrophotometers)
・	特別仕様の分光測光システム (Special Spectrophotometric System）
・	各種試料測定のためのサンプリング附属装置ユニット (Sampling Attachment Units）
・	各種測定スペクトル解析ソフトウェア (Chemical Analyses Softwares）

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