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モデル化の概要および成果 |
本紫外固体レーザー光源は、大阪大学で発明されたCBO※結晶波長変換素子を用いることにより、30％以上の高効率で波長変換（従来品のLBO※※結晶の1.5倍以上）でき、数ワットの高出力の実現を目指した国産の紫外光源である。これまで高出力用として波長変換素子にはLBO結晶がよく用いられてきているが、LBO結晶は国産品でないため、品質保証や安定供給という点でユーザ側としては不安材料が多く、紫外固体レーザー装置の用途としては、研究開発用がほとんどである。
これを解決し製造ラインへの導入を可能とするために本開発では、 高品質CBO結晶の育成および品質評価  結晶の劣化防止を考慮した波長変換部試作  紫外レーザー光特性の評価を実施することにより、当初の目的をほぼ達成でき、変換効率30％で出力2W以上を得ることができた。実用化に対しては、まだ結晶の寿命試験や波長変換部の小型化等が残っているが、これらの解決に向けた開発を今後進めて行く。この紫外レーザー光源が開発、実用化されると、高品質で、安定供給される国産結晶の使用が可能となるため、メンテナンスフリーで低価格の紫外固体レーザー光源を用いた微細加工装置等の製造ラインへの導入が期待出来る。
※CBO : セシウムトリボレート(CsB3O5)、※※LBO : リチウムトリボレート(LiB3O5)
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事後評価 |
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モデル化目標の達成度
内部散乱欠陥を解消したCBO結晶波長変換素子を製作し、出力3W、変換効率30％を確認した。
研究開発は順調に進められ、モデル化目標の確認はされたが、微細加工装置等の紫外固体レーザー光源として仕上げるにはまだ時間が必要ではないか。
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知的財産権等の発生
内部散乱欠陥解消法の出願を予定している。 |
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企業化開発の可能性
企業化の可能性実現が視野に入った。今後必要な要（カナメ）部材として我が国の独自商品材になる可能性がある。 |
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新産業、新事業創出の期待度
量産商品でないが、貴重な商品（高付加価値商品）となる可能性があり、新事業の創出が期待できる。 |
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評価のまとめ |
自由な波長変換を可能とするプロセス用レーザー光源の実現に有効である。また、その他にも重要部品材となる可能性がある。
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