１）切削・研削加工：切削加工とは、加工物を刃物で除去することにより、所望の形状、精度に加工すること。研削加工とは、加工物を研削砥石で削り取り、所望の形状、精度に加工すること。

２）バイト：旋盤・平削盤などの工作機械に用いる切削用の刃物。

３）力センサ（動力計）：精密、超精密加工時の切削、研削力を測定するためのセンサ。加工精度を劣化させないように高剛性、高安定性が求められる。

４）歪ゲージ：起歪体にＮｉ－Ｃｕなどの感歪材料を貼り付けて、応力を加えたときに起歪体に生じた歪（変形）を抵抗の変化として検出する素子。応力の測定の他、変位センサ、圧力センサ、力センサなどに応用される。

５）ナノインプリンティング：樹脂にナノレベルの微細加工された金型を転写する技術。短時間に大量にナノレベルの形状精度をもった部品を製作することが可能である。

６）圧電方式力センサ：水晶などの圧電素子に応力を加えたときに生じる電荷を検出することを原理とする力センサ。剛性が大きく感度が高いという特徴がある。また分極方向を変えることによって多軸化が可能である。

７）感歪材料：歪みが生じると抵抗が変化する材料。一般的にＮｉ－Ｃｕ（ニッケル－銅）、Ｎｉ－Ｃｒ（クロム窒化物）などが用いられる。

８）ホイートストンブリッジ回路：歪みが生じることによる歪みゲージの抵抗変化はきわめて小さい。そこで４つの歪みゲージを接続してホイートストンブリッジ回路を構成し、ブリッジ電圧を印加することにより抵抗変化を出力電圧の変化として検出する。一般にはこの出力電圧をアンプによって増幅して、更に大きな電圧変化として取り出す。

９）トリミング：レーザによって感歪材料の電極パターンの一部を除去することによって、抵抗値を変化させ調整する。