位相板：
　進行波の位相をπ/2遅らせる働きをする。非晶質カーボン膜で、中心にφ１μmの孔があいている。

位相差像：
　試料を透過した散乱・回折波の位相を位相板により1/4波長（π/2）ずらし、位相板の孔を通過した透過波と干渉させることにより得られる、低周波数のコントラストの高い位相コントラスト像。

アモルファス：
　原子や分子の位置が不規則な物質。非結晶質。

FIB：
　Focused Ion Beam。ガリウムイオンを数ｋV～４０ｋVで加速し、集束させて照射することでサブミクロンの精度で試料を加工する装置。