 |
| 著者・発表者 |
小野島紀夫、須田淳、松波弘之 |
| 表題 |
２次元初期成長の実現によるによるSiC(0001)基板上高品質AlN層の結晶性向上 |
| 発表先 |
応用物理学会(2003年春期) |
| |
|
| 著者・発表者 |
N. Onojima, J. Suda and H. Matsunami |
| 表題 |
High-quality AlN by initial layer-by-layer growth on surface-controlled 4H-SiC(0001) substrate |
| 発表先 |
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS 42 (5A): L445-L447 |
| |
|
| 著者・発表者 |
N. Onojima, J. Suda and H. Matsunami |
| 表題 |
Growth of high-quality non-polar AlN on 4H-SiC (11-20) substrate by molecular-beam epitaxy |
| 発表先 |
第5回窒化物半導体国際会議(ICNS5) |
| |
|
| 著者・発表者 |
N. Onojima, J. Suda and H. Matsunami |
| 表題 |
Impact of SiC surface control on initial growth mode and crystalline quality of AlN grown by molecular-beam epitaxy |
| 発表先 |
第5回窒化物半導体国際会議(ICNS5) |
| |
|
| 著者・発表者 |
須田淳、小野島紀夫、木本恒暢、松波弘之 |
| 表題 |
界面制御によるSiC基板上AlN成長層の高品質化および新規面方位SiC上へのAlNの成長 |
| 発表先 |
第33回結晶成長国内会議(NCCG-33) |
| |
|
| 著者・発表者 |
小野島紀夫、須田淳、木本恒暢、松波 弘之 |
| 表題 |
ポリタイプ整合による4H-SiC(11-20)基板上の高品質4H-AlN |
| 発表先 |
応用物理学会(2003年秋期) |
| |
|
| 著者・発表者 |
神谷慎一、小野島紀夫、須田淳、木本恒暢、松波弘之 |
| 表題 |
6H-SiC基板上MBE成長におけるAlN緩衝層とGaN成長層の結晶性の関係 |
| 発表先 |
応用物理学会(2003年秋期) |
| |
|
| 著者・発表者 |
小野島紀夫、海藤淳司、須田淳、木本恒暢、松波弘之 |
| 表題 |
rf-MBE法により形成したAlN/4H-SiC (0001) 界面の電子物性 |
| 発表先 |
応用物理学会(2003年秋期) |
| |
|
| 著者・発表者 |
N. Onojima, J. Kaido, J. Suda, T. Kimoto and H. Matsunami |
| 表題 |
Towards High-Quality AlN/SiC Hetero-Interface by Controlling Initial Processes in Molecular-Beam Epitaxy |
| 発表先 |
2003年シリコンカーバイドおよび関連材料に関する国際会議(International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2003, ICSCRM2003) |
| |
|
| 著者・発表者 |
J. Suda, N. Onojima, T. Kimoto and H. Matsunami |
| 表題 |
Step-Flow or Layer-by-Layer Growth for AlN on SiC(0001) Substrates |
| 発表先 |
Material Research Society Fall Meeting 2003 |
| |
|
| 著者・発表者 |
N. Onojima, J. Suda and H. Matsunami |
| 表題 |
Growth of high-quality non-polar AlN on 4H-SiC (11-20) substrate by molecular-beam epitaxy |
| 発表先 |
physica status solidi (c) Volume 0, Issue 7, Pages: 2502-2505 |
| |
|
| 著者・発表者 |
N. Onojima, J. Suda and H. Matsunami |
| 表題 |
Impact of SiC surface control on initial growth mode and crystalline quality of AlN grown by molecular-beam epitaxy |
| 発表先 |
physica status solidi (c) Volume?0, Issue?7, Pages:?2529-2532 |
| |
|
| 著者・発表者 |
Onojima N, Suda J, Kimoto T, Matsunami H |
| 表題 |
4H-polytype AlN grown on 4H-SiC(11-20) substrate by polytype replication |
| 発表先 |
Appllied Physics Letters 83 (2003), 5208-5210. |
| |
|
| 著者・発表者 |
N. Onojima, J. Suda and H. Matsunami |
| 表題 |
Growth of AlN (11(2)over-bar0) on 6H-SiC (11(2)over-bar0) by molecular-beam epitaxy |
| 発表先 |
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS 41 (12A): L1348-L1350 |
| |
|
| 著者・発表者 |
須田淳 |
| 表題 |
Effect of surface control of SiC (0001) substrate on heteroepitaxial growth of AlN |
| 発表先 |
日本学術振興会「結晶加工と評価技術」第145委員会 第99回研究会 「ワイドギャップ系半導体の結晶工学とデバイス」 |
| |
|
| 著者・発表者 |
小野島紀夫、海藤淳司、須田淳、木本恒暢 |
| 表題 |
Correlation between interface structure and electronic properties of AlN/4H-SiC(0001) |
| 発表先 |
応用物理学会(2004年春期) |
| |
|
| 著者・発表者 |
中野佑紀、須田淳、木本恒暢 |
| 表題 |
Direct growth of n-GaN on p-4H-SiC for GaN/SiC HBT |
| 発表先 |
応用物理学会(2004年春期) |
| |
|
| 著者・発表者 |
堀田昌宏、小野島紀夫、須田淳、木本恒暢 |
| 表題 |
CL measurement of AlN grown on 4H-SiC (0001) and (11-20) |
| 発表先 |
応用物理学会(2004年春期) |
| |
|
| 著者・発表者 |
N. Onojima, J. Kaido, J. Suda, T. Kimoto and H. Matsunami |
| 表題 |
Towards High-Quality AlN/SiC Hetero-Interface by Controlling Initial Processes in Molecular-Beam Epitaxy |
| 発表先 |
Materials Science Forum vol.457-460: 1569-1572, 2004 |
| |
|
| 著者・発表者 |
Masahiro Horita, Norio Onojima, Jun Suda and Tsunenobu Kimoto |
| 表題 |
Cathodoluminescence study of AlN grown on 4H-SiC (11-20) |
| 発表先 |
第23回電子材料シンポジウム(EMS-23) |
| |
|
| 著者・発表者 |
Jun Suda, Norio Onojima and Tsunenobu Kimoto |
| 表題 |
Heteroepitaxial Growth of AlN on SiC - Stacking Mismatch |
| 発表先 |
第23回電子材料シンポジウム(EMS-23) |
| |
|
| 著者・発表者 |
N. Onojima, J. Kaido, J. Suda, T. Kimoto |
| 表題 |
Molecular-beam epitaxy of AlN on off-oriented SiC and demonstration of MISFET using AlN/SiC interface |
| 発表先 |
窒化物半導体国際ワークショップ2004 International Workshop on Nitride Semiconductors 2004 (IWN2004) |
| |
|
| 著者・発表者 |
Y. Nakano, J. Suda, T. Kimoto |
| 表題 |
Direct growth of GaN on off-oriented SiC (0001) by molecular-beam epitaxy for GaN/SiC heterojunction bipolar transistor |
| 発表先 |
窒化物半導体国際ワークショップ2004 International Workshop on Nitride Semiconductors 2004 (IWN2004) |
| |
|
| 著者・発表者 |
J. Suda, M. Horita, N. Onojima and T. Kimoto |
| 表題 |
Heteroepitaxial Growth of AlN on SiC |
| 発表先 |
High-tech research technical meeting on Hybrid Nanostructured Materials and Its Applications 2004 |
| |
|
| 著者・発表者 |
須田淳、木本恒暢 |
| 表題 |
Control of interface properties of AlN/SiC and its application on AlN/SiC MISFET |
| 発表先 |
応用電子物性分科会研究例会 「窒化アルミニウム―結晶・プロセス・デバイスの最前線―」 |
| |
|
| 著者・発表者 |
Jun Suda, Yuki Nakano and Tsunenobu Kimoto |
| 表題 |
Influence of Substrate Misorientation Angle and Direction in Molecular-Beam Epitaxial Growth of GaN on Off-Axis SiC |
| 発表先 |
Material Research Society Fall Meeting 2004 |
| |
|
| 著者・発表者 |
J. Suda, M. Horita, N. Onojima and T. Kimoto |
| 表題 |
Heteroepitaxial Growth of AlN on SiC |
| 発表先 |
Hybrid Nanostructured Materials and Their Applications, Eds. T. Ohachi, A. S. Somintac and M. Wada (ISBN4-9902429-0-4) |
| |
|
| 著者・発表者 |
Robert Armitage, 須田淳、木本恒暢 |
| 表題 |
Growth of Nonpolar GaN and AlN Epilayers on 4H-SiC (1-100) substrates |
| 発表先 |
応用物理学会(2005年春期) |
| |
|
| 著者・発表者 |
中野佑紀、島田翔太、須田淳、木本恒暢 |
| 表題 |
Fabrication and Characterization of GaN/SiC Hetero-junction Bipolar Transistors |
| 発表先 |
応用物理学会(2005年春期) |
| |
|
| 著者・発表者 |
N. Onojima, J. Kaido, J. Suda, T. Kimoto |
| 表題 |
Molecular-beam epitaxy of AlN on off-oriented SiC and demonstration of MISFET using AlN/SiC interface |
| 発表先 |
physica status solidi (c) Volume 2, Issue 7, Pages: 2643-2646 |
| |
|
| 著者・発表者 |
Y. Nakano, J. Suda, T. Kimoto |
| 表題 |
Direct growth of GaN on off-oriented SiC (0001) by molecular-beam epitaxy for GaN/SiC heterojunction bipolar transistor |
| 発表先 |
physica status solidi (c) Volume 2, Issue 7, Pages: 2208-2211 |
| |
|
| 著者・発表者 |
Masahiro Horita , Jun Suda and Tsunenobu Kimoto |
| 表題 |
Impact of III/V ratio on polytype and residual strain of AlN grown on 4H-SiC (11-20) substrate by molecular-beam epitaxy |
| 発表先 |
第24回電子材料シンポジウム(EMS-24) |
| |
|
| 著者・発表者 |
Masahiro Horita , Jun Suda and Tsunenobu Kimoto |
| 表題 |
Impact of III/V ratio on polytype and residual strain of AlN grown on 4H-SiC (11-20) substrate by molecular-beam epitaxy |
| 発表先 |
第6回窒化物半導体国際会議 6th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS6) |
| |
|
| 著者・発表者 |
R. Armitage, J. Suda and T. Kimoto |
| 表題 |
Growth of Nonpolar AlN and AlGaN on 4H-SiC (1-100) by Molecular Beam Epitaxy |
| 発表先 |
第6回窒化物半導体国際会議 6th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS6) |
| |
|
