【神野 伊策】分極制御非鉛圧電薄膜による高効率MEMS振動発電素子の創製


研究代表者

神野 伊策

神戸大学
大学院工学研究科
教授

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研究概要

本研究では、非鉛圧電薄膜材料を用いたMEMS振動発電素子の高効率化およびバッテリーフリーセンサシステムの要素技術確立を目的としています。有機、無機非鉛圧電薄膜の結晶構造、分極構造(ドメイン構造)の制御を行い、発電性能指数を向上させることに加え、その特性を最大限に引き出すための力学モデルおよび数値解析に基づいた素子設計、それを実現するための微細加工技術の確立に取り組みます。

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