TOP > > 江刺 正喜
マイクロシステム融合研究開発
江刺 正喜 研究者からのメッセージ 動画:00分38秒 研究内容の紹介 動画:03分26秒 人物紹介 動画:03分12秒 研究者へのホームページ
研究の進捗状況インタビュー
研究者からのメッセージ2010年度 研究内容の紹介2010年度
ワイヤレス機器のため、集積回路チップの上にフィルタやスイッチなどを形成し、ウェハ状態で一括に蓋をする「ヘテロ集積化技術」を開発しました。このようなデバイスを試作する環境としての「試作コインランドリ」では応力制御成膜、「超並列電子線描画装置」では集積回路駆動電子源ができました。

異なる技術の融合で集積回路の高付加価値化をめざす

高度化した集積回路の研究開発や製造は大規模で費用もかかります。玩具のような手作りの試作設備を使うと全行程を自分で経験した人材の育成や異なる技術を融合した技術開発ができます

標準化と大量生産で進歩してきた集積回路の
技術で、多様化と少量生産を可能にする

集積回路に、動く構造などの異なる要素を融合させることで、システムの鍵を握る高付加価値の部品を作ることができます。これはMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)と呼ばれ、センサやユーザインターフェースなどに使われています。種類ごとにいろいろな技術の組み合わせが必要で、しかも集積回路のための大掛かりな設備を必要としますが、必ずしも大量には使われません。このためその開発は容易でなく、採算も合いにくいのが課題です。これを解決するには幅広い知識と経験を持つ人材を育成して協力し合うと同時に、試作開発などの設備を共用し利用効率を上げる必要があり、本研究ではこれを可能にします。異種技術融合開発では、東北大学で小規模に試作した後、産業技術総合研究所で生産に結びつく開発を行います。また個々に大きな設備投資をしては採算が合わないような開発や少量生産でもできるように、使わなくなった半導体製造施設を有効活用し、設備を借りて使う「試作コインランドリ」を始めました。このほか高価なフォトマスクを使わなくても集積回路を作る目的で、短期開発や多品種少量生産ができるように超並列電子線描画装置を開発します。


安全・健康・環境などの課題解決と同時に世界に通用する産業競争力
社会の安全や環境・資源・エネルギー問題、高齢化などの課題解決が求められています。これに応えると同時に人々の働く場を確保するには、国際的に競争力のある産業が必要です。それには産業に結びつく研究活動をしていかなければなりません。本研究開発の具体的な目標としては携帯無線機器のマルチバンド化で、大容量でも確実に通信できるようにするため、機械的共振子による多周波数のフィルタを無線用集積回路上に形成します。このようにして微細化・高密度化の進んだ集積回路を異種技術融合の方向に発展させます。


図解 研究者からのメッセージ 研究内容の紹介 研究者のホームページ