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研究成果集

木村融液動態プロジェクト

目次

  1. シリコン密度の融点近傍での異常現象の発見
  2. 高温融液の表面張力測定技術
  3. ルツボ内の対流シミュレーションの開発及び応用
  4. 温度測定によるルツボ内シリコン融液対流構造の解析
  5. アンチモン添加シリコン融液及び結晶の酸素輸送機構の解明
  6. 結晶成長界面の凍結法の開発
  7. 融液の熱履歴制御による高品質半導体結晶の成長技術
  8. 高温融液の光学特性測定技術
  9. 高温融液の伝導度測定技術
  10. X線吸収微細構造の解析(EXAFS)によるシリコン融液構造を解析
  11. エネルギー分散型X線回折(EDXD)法による高温融液構造の解析
  12. 分子動力学法による融液構造モデルの提案
  13. 酸化物融液の物性測定技術
  14. 半導体粒界での融液挙動の解明

 
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