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研究成果集

高配向性有機超薄膜の形成

分子線蒸着法による有機超薄膜の形成

研究成果の概要
  1. 製法
    UV/HF処理した清浄なシリコン基板に有機化合物用分子線蒸着装置(図1)で成長させることにより極めて平滑で高い結晶性と配向性を示す有機薄膜が容易に形成できる。

  2. 性質
    銅フタロシアニン分子線蒸着膜を形成した。これは従来の真空蒸着膜に比べ酸化物等の不純物の混入が極めて少なく(図2)、また分子レベルで平滑で高い結晶性(図3)、高い配向性(図4)を示す。
成果展開可能なシーズ、用途等
  1. 高品位有機薄膜形成が可能な分子線蒸着装置を開発。

  2. 用途
    精密な薄膜組成制御が要求される電子材料、デバイス等。
特許出願
  1. 真空蒸着装置
    特願:昭62-308426(昭62.12.4) 特開平2-66161(平2.3.6)
    出願人:新技術事業団、服部紳太郎、高萩隆行、石谷 炯
    請求の概要:有機分子線蒸着装置の蒸発用セルにシャッターを取付け、装置本体の真空度を保持しままセルの交換を可能とした。
  2. 真空蒸着装置
    特 願:昭62-308427(昭62.12.4) 特開平2-66162(平2.3.6)
    出願人:新技術事業団、服部紳太郎.高萩隆行、石谷 炯
    請求の概要:有機分子線蒸着装置において、蒸着物質をアンプルに封入して、蒸着セル中に挿入後開封して蒸着を行う。(蒸着セル内壁の蒸着物質による汚染を軽減、蒸着物質の交換を速やかに行う)
  3. 真空蒸着装置
    特 願:昭62-308428(昭62.12.4) 特開平1-222045(平1.9.5)
    出願人:新技術事業団、服部紳太郎、高萩隆行、石谷 炯
    請求の概要:有機分子線蒸着装置の蒸着セルにコリメーターを装着し、蒸着物質のビームを絞る。
《外国出願》

  1. Vacuum Dipositing Apparatus
    米国出願 07/280,152(12.5.'88)、EPC(英、仏、西独)出願
    国内出願 昭62-308426、昭62-308427、昭62-308428に同じ
報告書他
  1. 服部紳太郎:創造科学技術推進事業1989研究報告会(第2部)講演要旨 p.22-28,
    「有機超薄膜の構造制御」
  2. S.Hattori,A.Ishltani and H. Kuroda :J.Appl.Phys.Vol 67,No1,p.237-240 (1990)
    “Characterization of Evaporated Thin Films of Merocyanene Dyes”
  3. 服部紳太郎他:第36回応用物理学関係連合講演会講演予稿集I,p.240(1989)
    「分子線蒸着法による銅フタロシアニン薄膜の形成」
  4. 服部紳太郎他:第50回応用物理学会学術講演会講演予稿集III,p.1000(1989)
    「分子線蒸着法による高配向性有機薄膜の形成」
〔研究者名〕服部紳太郎

図1.有機化合物用分子線蒸着装置

図2.銅フタロシアニン薄膜のXPSスペクトル (a)分子線蒸着膜、(b)真空蒸着膜

図3.銅フタロシアニソ分子線蒸着膜の反射型高速電子線回折パターン

図4.銅フタロシアニソ分子線蒸着膜のX線回折パターン


 
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