 事業目標の達成度及び波及効果並びに今後の展望
正、副研究統括の優れたリーダーシップが事業の推進に大きな役割を果たし、ほとんどの事業目標が達成されている。シリコンアイランドと呼ばれる地域における拠点と地場産業の連携に着目して努力した成果が目覚ましく、核となる優越性のある技術を活かしながら、学と産との連携システムが機能しており大きな波及効果が期待される。また、優れた開発技術が他分野への具体的な展開を見せている点、並びに、人材育成に力を入れている点も評価できる。今後、現在のシ−ズを確実に育て、強い競争力を持つ技術開発につなげることを期待する。
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 研究開発目標の達成度及び成果並びに今後の展望
論文発表１９８件、特許出願６５件（うち外国１０件、成立１５件）は成果として十分である。産業ニ−ズに即して研究開発が方向付けられ、技術達成度も高い。コア研究室を中心に現場で発生した諸問題を研究レベルで解析・解決し、その成果を現場に戻して実用化するサイクルがうまく機能しており評価できる。このように、課題の解決のために企業技術者を巻き込み、かつ特許確保を保証した上で進めたことは、プロジェクト推進のモデルとなりうるものであり、今後の展開にも期待できる。
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 成果移転に向けた取り組みの達成度及び今後の展望
展開を広い視野から検討しており、既に本事業分野で産業化され、商用になっているものもあり、成果移転活動のレベルも高い。これらの成果は次世代の生産・検査技術や装置のキ−技術として他のプロジェクトで活用され始めているので、さらに大きく展開していくことに期待する。
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 都道府県等の支援及び今後の展望
半導体産業が集積した県にあって、本事業のためのクリーンルーム建設など、その役割を果たしている。今後も積極的な資金面での支援が計画されており、今までの実績を伸ばす実のある支援が期待できる。ただし、今後の展望について抽象的な面があるので、産学官ネットワ−クのイニシアチブの発揮、中心となる研究者への支援体制等に関して具体的な検討が望まれる。
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